กระบวนการทำความสะอาดพัลซิ่งเลเซอร์กำลังสูงขึ้นอยู่กับลักษณะของพัลส์แสงที่สร้างโดยไฟเบอร์เลเซอร์ และขึ้นอยู่กับปฏิกิริยาทางแสงที่เกิดขึ้นจากการทำงานร่วมกันระหว่างลำแสงความเข้มสูง เลเซอร์พัลส์สั้น และชั้นที่ปนเปื้อน .
หลักการทางกายภาพสามารถสรุปได้ดังนี้:
(1) ลำแสงที่ปล่อยออกมาจากเลเซอร์จะถูกดูดซับโดยชั้นที่ปนเปื้อนบนพื้นผิวที่จะรับการบำบัด
(2) การดูดซับพลังงานขนาดใหญ่เพื่อสร้างพลาสมาที่ขยายตัวอย่างรวดเร็ว (ก๊าซที่ไม่เสถียรที่มีไอออนไนซ์สูง) ส่งผลให้เกิดคลื่นกระแทก
(3) คลื่นกระแทกทำให้สิ่งปนเปื้อนกระจัดกระจายและถูกปฏิเสธ
4) ความกว้างของพัลส์แสงจะต้องสั้นพอที่จะหลีกเลี่ยงการสะสมความร้อนที่ทำลายพื้นผิวที่กำลังรับการบำบัด
5) พลาสมาจะถูกสร้างขึ้นบนพื้นผิวโลหะเมื่อมีออกไซด์อยู่บนพื้นผิว
